Frederick Guthrie inventou o diodo em 1873, mas não o colocou em uso prático. Thomas Edison o desenvolveu independentemente em 1880 e, em seguida, usou-o em sua patente de 1883 da lâmpada incandescente. John Ambrose Fleming recebeu a primeira patente do próprio diodo em 1904.
Todos esses primeiros diodos eram diodos de tubo de vácuo. O diodo a vácuo foi a forma mais comum até a década de 1950, quando os diodos semicondutores os suplantaram. Os diodos semicondutores foram inventados logo após os diodos de tubo de vácuo, mas não eram estáveis o suficiente para uso prático até meados do século XX. Karl Ferdinand Braun inventou o primeiro diodo semicondutor em 1874 e o patenteou em 1899.
