A primeira usina geotérmica foi inventada em 1904 pelo príncipe Piero Ginori Conti. Este sistema usava vapor para gerar energia elétrica.
Não foi até 1922 que a primeira usina geotérmica foi construída nos Estados Unidos com uma capacidade de 250 quilowatts. Sua produção era pequena e posteriormente foi encerrada devido a problemas técnicos. Mais tarde, em 1946, uma bomba de calor de fonte subterrânea foi construída no Edifício Commonwealth em Oregon. A primeira usina geotérmica em grande escala, com uma produção de 11 megawatts, foi construída em São Francisco na década de 1960. As bombas de calor geotérmicas ganharam popularidade na década de 1980 após a crise do petróleo em 1973. Desde então, a energia geotérmica continuou a se desenvolver com a necessidade crescente de reduzir os custos de resfriamento e aquecimento.
